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北京恒奧德儀器旋轉(zhuǎn)涂膜操作原理

機(jī)通過高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力將膠液均勻涂覆在基片表面。其核心原理如下：

操作原理

?滴膠?：將膠液滴在高速旋轉(zhuǎn)的基片中心。

?離心力擴(kuò)散?：旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力使膠液從中心向四周擴(kuò)散，形成均勻涂層。

?厚度控制?：涂層厚度取決于膠液粘度、基片轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)加速度及溶劑蒸發(fā)速度，通常遵循h∝ω(-1/2)的數(shù)學(xué)關(guān)系。 ?

關(guān)鍵參數(shù)

?轉(zhuǎn)速范圍?：常見轉(zhuǎn)速范圍為500-8000轉(zhuǎn)/分，可通過光電檢測與負(fù)反饋電路實(shí)現(xiàn)±1%的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度。 ?

?程序控制?：支持多段編程（20個(gè)程序段×51種速度變化），可實(shí)現(xiàn)低速注膠和高速勻膠的二段控制。 ?

?真空吸附?：采用無油真空泵固定基片，確保涂覆精度。 ?

應(yīng)用場景

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓光刻膠涂布、光學(xué)鏡片涂層、生物材料薄膜制備等領(lǐng)域，尤其在需要高精度、均勻涂層的工藝中